用于半导体行业的驱动系统

数字化的原料

半导体行业中的工业设备节拍时间以秒计算,或者甚至更短。因此,高动态性能和精确度就是成功的关键。我们致力于为晶圆和微芯片制造过程研发和制造性能最为强大的交钥匙型驱动系统。 

驱动模块

进一步提高生产率: 芯片制造中的机器人技术

maxon的驱动装置广泛应用于晶圆生产、前端/后端和拾放应用等过程中。在这一领域,maxon驱动系统的高功率密度、可靠性和低转动惯量可以确保过程顺畅无碍并且节拍时间极短。  

极紧凑结构中的高功率密度

高效率

低电磁干扰

洁净室和真空应用解决方案

先进的控制器保证出色的定位性能

微芯片推动全世界发展

由于物联网、无线通讯以及人工智能等技术的发展,半导体行业的产量连年持续增长;同时,芯片的结构尺寸也在不断缩小。为了实现高效率、高产量的制造过程,各种机器和设备也随之越来越复杂。

maxon每年为半导体市场上的各种应用生产200,000台驱动技术装置,而且至今数量不断增加。 

用于半导体行业的maxon解决方案

快速、洁净的微装配操作

微型线性驱动装置可保证精确定位

maxon专为半导体行业的客户研发和制造微型线性驱动装置。  

 

ECX SPEED系列8 mm直径BLDC电机经过最佳调整,专为高达120,000 rpm的转速设计,极其快速并能平稳运行。我们为这款电机搭配可高功率传输的maxon GPX行星齿轮箱以及三通道编码器ENX 8 EASY以及集成在外壳中的电路。电机行程为5 mm,分辨率为9 μm。此外,每一个装置都配备陶瓷丝杠,确保较长的使用寿命。 

  • 特殊滑座设计的移动行程可以是20 / 25 / 30 / 40 / 50 mm
  • 螺距:0.4 mm
  • 分辨率最高8.9 μm
  • 速度:1至5 mm/s
  • 单向可重现性:0.22 μm
  • 重量 > 36 g
  • 尺寸:50.3 x 11.5 x 10.5 mm
  • 可提供Flexprint或铁氟龙电缆(排线或单导线)

无框直接驱动装置: EC-i 275 Frameless High Torque

maxon无框电机体积非常小,同时可提供最佳的转矩密度及较高的过载性能。内径可根据客户特定需要进行调整。电机可以在洁净室环境中运行,适合用于空气轴承应用。 

  • 外径:275 mm
  • 内径:172 mm
  • 额定扭矩:17 Nm
  • 静止扭矩:63 Nm
  • 典型应用:定位/分度盘包含缆线套管;高转矩/低转速和低齿槽转矩的直接驱动装置

maxon ECX Flat

这个无刷电机系列产品的性价比极具吸引力,并且已经过最佳调整,可提供最高转矩密度,其短型结构设计非常适合用于空间有限的应用。  

  • 可在线配置,并在11天内供货
  • 新型绕组技术和分段磁体可进一步提高性能
  • 集成速度闭环控制器 (ESCON-C)
  • 集成电感式旋转编码器 (MILE)
  • 主动式冷却叶轮(选项)

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用于半导体行业的maxon驱动装置

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认识我们位于荷兰的专业生产基地,了解maxon的哪些高精密机电一体化驱动系统成功用于晶圆升降、蚀刻、抛光研磨和以及拾放等过程。   

Corporate Blog

成功故事

maxon的驱动装置解决方案能满足半导体行业中各种应用对于精确性、洁净室适用性以及尺寸规格方面的严格要求。
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Pocket Delta_Asyril_pick&place_1maxon Story

Pocket Delta机器人。

如今各种微装配任务对驱动技术的要求越来越高。随着微型组件及系统微型化趋势的不断深入,大型生产系统的研发陷于停滞。一家来自瑞士西部的公司凭借其推出的一整套Delta机器人产品系列给市场带来了一场革新。强力型maxon电机为执行高精度的动态动作提供保证。
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真空车间内

在半导体行业中,清洁度和精度不可或缺。因此,瑞士真空专业公司VAT与maxon公司联合研发出一种适用于晶圆的驱动系统。
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洁净室

半导体系统制造

maxon在内部洁净室中制造适用于半导体行业的驱动装置。研发重点在于使用寿命长,并采用各种高端材料,包括钛和技术陶瓷。

我们的质量标准

Alain Codourey博士

Asyril公司创办人

“为了降低转动惯量,所有元件的重量都要尽可能细巧、轻盈。所选用的三角配置的一大优点在于,虽然maxon电机负责动作执行,但是电机本身并不移动。电机固定于支架上,并将动作直接传递给结构体。” 

常见问题解答

  • maxon是否能制造和供应整套完整系统?

    是的。maxon可以立即提供多种现有的标准解决方案,例如包含DC电机、传感器、位置和多轴控制器的解决方案以及无框直接驱动装置解决方案。此外,我们还可以专为半导体行业研发和制造个性化的解决方案 . 

  • 在设计和制造完整驱动系统方面(设备内部的运动),maxon是否能提供帮助?

    可以。maxon拥有累积多年的经验,能帮助客户设计整个平移运动,并在成本或性能方面进行优化。  

  • 使用maxon控制器有哪些益处?

    maxon控制器中已集成空心杯电机所需的电感。此外,还可以利用EPOS和ESCON软件,对maxon驱动装置进行全自动微调。这样,就可以使驱动装置与控制器完美配合。用户图形界面 (GUI) 简单易用,可用来对电机进行各种测量和精调。  

  • 是否能根据实际应用的环境条件来调整maxon系统?

    可以。maxon在半导体行业环境条件方面有着丰富的经验(例如真空环境、洁净室)。 

联系方式

我们能为您做些什么?

我们的半导体行业专家竭诚为您服务。